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金剛石砂輪對硅塊拋光的應用

文章作者:ownpowerkefu

發(fā)表時間:2015-05-22 11:39:16

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[導讀:]金剛石砂輪對硅塊拋光的應用1、目前現(xiàn)狀 硅片車間的開方機由于進來的提速切割,操作人員在實際的工作中,只要稍有疏忽就會造成硅塊的切割質(zhì)量不好。主要分為:切割的硅塊表面有鋸痕;硅塊的尺寸出現(xiàn)中間“鼓肚”現(xiàn)象;斷線引起的局部硅塊形狀彎曲。目前車間的毛刷式的砂..

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金剛石砂輪對硅塊拋光的應用

1、目前現(xiàn)狀
        硅片車間的開方機由于進來的提速切割,操作人員在實際的工作中,只要稍有疏忽就會造成硅塊的切割質(zhì)量不好。主要分為:切割的硅塊表面有鋸痕;硅塊的尺寸出現(xiàn)中間“鼓肚”現(xiàn)象;斷線引起的局部硅塊形狀彎曲。目前車間的毛刷式的砂輪已經(jīng)不能完全去除由于切割造成的鋸痕;對于“鼓肚”問題的硅塊,由于毛刷式的砂輪的拋光能力有限,不能把中間大的尺寸去除。此時急需一種具有更強研磨能力的砂輪。
2、實施方法
       目前車間所使用的拋光機主要原理,依次通過粗砂輪、細砂輪對硅塊的表面進行拋光。現(xiàn)在通過把拋光機的粗砂輪更換為金剛石砂輪,細砂輪使用毛刷式砂輪對硅塊進行拋光。
        試驗使用的是金剛石樹脂結合劑砂輪,天然和人工金剛石都可以用于磨削,金剛石是碳的一種超高硬度形態(tài),因為它對鐵有親和性而形成快速磨損,結合劑選用樹脂型結合劑,它有摩擦中的震動,有一定的阻尼作用。利用金剛石砂輪的較強的研磨能力,可以把開方機切割造成的一些硅塊表面的問題如:切割的硅塊表面有鋸痕;硅塊的尺寸出現(xiàn)中間“鼓肚”現(xiàn)象;斷線引起的局部硅塊形狀彎曲,進行基本的拋光,再使用細砂輪對硅塊的表面進行優(yōu)化,可以取得更好的效果。
3、試驗過程
       為了提高硅塊表面的拋光質(zhì)量,通過金剛石的粗砂和毛刷式的細砂結合。粗砂把硅塊表面的“鼓肚”和大鋸痕去除,然后細砂輪保證剩余的精拋光。在實際操作中必須保證以下幾方面:在金剛石的粗砂拋光時,更應該給予充足的冷卻水,保證水路暢通保證砂輪前端蓋的安裝,使得水更均勻撒開到砂輪上面確保機床研磨臺車下的“V”型槽的精準性拋光時的研磨速度5—10mm/s
4、試驗數(shù)據(jù)統(tǒng)計
       金剛石砂輪可以解決對于開方機引起的問題,主要分為兩個:金剛線開方機引起的硅塊“鼓肚”問題;砂漿切割引起硅塊表面大的鋸痕問題。以下為兩種設備切割的硅塊的拋光前后的表面粗糙度的對比。

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